1、真(zhen)空泵的工(gong)作壓強應(ying)該滿足真(zhen)空設備的(de)極限真空(kong)及工作壓(yā)強要求。如(rú)：真空鍍膜(mó)要求1×10-5mmHg的真(zhēn)空度，選用(yòng)的真空泵(bèng)的真空度(dù)至少要5×10-6mmHg。通(tong)常選擇泵(bèng)的真空度(du)要高于真(zhen)空設備真(zhen)空度半個(gè)到一個數(shu)量級。

　　2、正确(què)地選擇真(zhen)空泵的工(gōng)作點。每種(zhǒng)泵都有一(yi)定的工🤞作(zuo)壓強範👅圍(wei)，如：擴散泵(bèng)為10-3~10-7mmHg，在這樣(yang)寬壓強範(fan)圍内，泵的(de)抽速⛹🏻‍♀️随壓(yā)強而變化(huà)，其穩定的(de)工作壓強(qiang)範圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因(yīn)而，泵的工(gōng)🧡作點應該(gai)選在這個(ge)範圍之内(nei)，而不能讓(ràng)它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又(you)如钛升華(hua)泵可以在(zài)10-2mmHg下工作，但(dàn)其工作壓(ya)強應小于(yú)1×10-5mmHg為好。

　　3、真空(kōng)泵在其工(gong)作壓強下(xia)，應能排走(zou)真空設備(bèi)工藝過🈲程(chéng)中産生的(de)全部氣體(ti)量。

　　4、正确地(di)組合真空(kong)泵。由于真(zhen)空泵有選(xuǎn)擇性抽氣(qì)，因㊙️而，有✍️時(shí)💋選用一種(zhǒng)泵不能滿(man)足抽氣要(yao)求，需要幾(jǐ)種泵組💛合(hé)起來，互相(xiàng)補充才😘能(neng)滿足抽氣(qì)要求。如钛(tai)升華泵對(dui)氫有很高(gāo)的抽速，但(dan)不能抽氦(hài)，而三極型(xíng)濺射離子(zǐ)泵，（或二極(jí)型非對稱(cheng)陰極濺射(shè)離子泵）對(dui)氩🏃🏻‍♂️有一定(dìng)的抽速，兩(liǎng)者組合起(qi)來，便會使(shi)真空裝置(zhì)得到較好(hao)的真空度(dù)。另外，有的(de)真👅空泵不(bú)能在大☎️氣(qi)壓下工作(zuò)，需要預真(zhēn)空；有的真(zhen)空泵出口(kou)壓強低于(yú)大氣壓，需(xū)要前級泵(bèng)，故都需要(yao)把泵組合(he)起來使用(yong)。

　　5、真空設備(bei)對油污染(rǎn)的要求。若(ruò)設備嚴格(ge)要求無油(yóu)時，應該☀️選(xuan)各💘種無油(you)泵，如：水環(huán)泵、分子篩(shāi)吸附泵、濺(jiàn)射離子泵(bèng)💜、低溫泵等(deng)。如果🌈要求(qiu)不嚴格，可(kě)以選擇有(yǒu)油泵，加上(shàng)一些防油(yóu)污💔染措施(shī)，如加冷阱(jǐng)、障闆、擋油(yóu)阱等，也能(neng)達到清潔(jie)真空要求(qiu)。

　　6、了解被抽(chou)氣體成分(fèn)，氣體中含(han)不含可凝(níng)蒸氣，有無(wu)顆🌐粒灰☀️塵(chen)，有無腐蝕(shi)性等。選擇(zé)真空泵時(shi)，需要知道(dao)🔞氣體成分(fèn)，針對被抽(chou)氣體選擇(zé)相應的泵(bèng)。如果氣體(tǐ)中含有蒸(zhēng)氣、顆粒、及(ji)腐蝕性氣(qi)體，應該考(kǎo)慮在泵的(de)⭐進氣口管(guan)路上安裝(zhuāng)輔助設備(bèi)，如冷凝器(qi)、除塵器等(deng)。

　　7、真空泵排(pái)出來的油(yóu)蒸氣對環(huán)境的影響(xiǎng)如何。如果(guǒ)環境不允(yǔn)許有污染(ran)，可以選無(wu)油真空泵(bèng)，或者把油(yóu)蒸氣排到(dao)室外。

　　8、真空(kōng)泵工作時(shi)産生的振(zhèn)動對工藝(yi)過程及環(huán)境有☀️無影(ying)響。若工藝(yi)過程不允(yǔn)許，應選擇(zé)無振動的(de)泵或🐕者采(cai)取防振動(dòng)措施。

　　9、真空(kōng)泵的價格(gé)、運轉及維(wéi)修費用。

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